二）疏散距离
洁净厂房的疏散距离应满足《建筑设计防火规范》GB50016的要求。洁净厂房内远工作地点或洁净区疏散口到外部出口或楼梯的距离应符合下表要求。
丙类生产的电子工业洁净厂房，在关键生产设备自带火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01％obs／m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后，安全疏散距离可按工艺需要确定，但不得大于以上规定的安全疏散距离的1.5倍；对于玻璃基板尺寸大于1500m×1850mm的TFT-LCD厂房，且洁净生产区人员密度小于0.02人／㎡，其疏散距离应按工艺需要确定，但不得大于120m。
精密电子净化工之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给于特别设计之密闭空间。
精密电子净化工程亦名无尘室或清净室，目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来，由于技术之创新发展，对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切，如超大型积体电路之研究制造，已成为在科技发展上极为重视的项目
监测内容主要包括以下信号：
空气状态参数监测：新风温湿度、预热温度、回风温湿度、送风温湿度以及温湿度设定值等。
设备运行状态监测：初、中效过滤器状态监测，在过滤器两侧设置风压差开关，压差开关动作设定值在0～300Pa 范围内调整，当过滤器前后压差△ P>设定值时，压差开关动作，系统产生报警信号，提醒管理人员进行更换或清洗；送风机运行状态/ 故障监测、排风机运行状态/ 故障监测、值班风机运行状态/ 故障监测、排风阀S D 1～S D 4开关状态监测等。
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