风速和风量测试仪器：
(1)风速测量仪的作用原理有：机械式、散热率式和动力测压式等。
a．机械式风速仪：如翼形风速仪，它是利用流动气体的原动压推动机械装置来显示其流速的仪表。
b．散热率式风速仪：是根据流体中受热物体的散热率与流体流速成正比关系制成，测定传感器的散热率，即能测到流体的流速。常用的散热率式风速仪有：热线风速仪和热球风速仪等。
(2)风量测量仪：在洁净室中总风量的测试常用风管法，各房间送回风量多用风口法进行测量，其原理为平均风速乘以断面面积。
折叠清洁要求(1)清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布;
(2)用90%去离子水和10%的配置清洁剂;
(3)使用已获批准的洁净室去污剂;
(4)每天都要检查车间和整备间的垃圾箱，并及时清走。
(5)每块地板都要吸尘。每次交接班时，都应在地图上标明工作完成情况，例如在哪结束从哪开始。
(6)清洁洁净室的地面应使用拖把。
(7)在洁净室里吸尘应使用带有过滤器的真空吸尘器。
(8)所有的门都需要检查并擦干
(9)吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。
(10)架空地板下也要吸尘及擦拭。
(11)三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。
(12)工作时一定要记住，永远是由上往下擦，从离门远的地方向门的方向擦。折叠
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