对气态污染物的净化，富集功能强。
缺点：当环境温度升高、压力降低和风速增大时，被吸附的气态污染物会从吸附材料表面脱附溢出，造成二次污染。
5、光触媒
光触媒是指在光的照射下发生光催化反应，产生氧化能力极强的氢氧根自由基（-OH）和超级阴氧离子（-O），可氧化分解各种有机化合物和部分无机物，能破坏有害物质的细胞膜和固化病毒的蛋白质，可杀灭有害物质和分解有机污染物，对甲醛、系物、硫化物、氨化物有明显的分解作用。
纳米TiO2是目前研究的光触媒。
折叠清洁要求(1)清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布;
(2)用90%去离子水和10%的配置清洁剂;
(3)使用已获批准的洁净室去污剂;
(4)每天都要检查车间和整备间的垃圾箱，并及时清走。
(5)每块地板都要吸尘。每次交接班时，都应在地图上标明工作完成情况，例如在哪结束从哪开始。
(6)清洁洁净室的地面应使用拖把。
(7)在洁净室里吸尘应使用带有过滤器的真空吸尘器。
(8)所有的门都需要检查并擦干
(9)吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。
(10)架空地板下也要吸尘及擦拭。
(11)三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。
(12)工作时一定要记住，永远是由上往下擦，从离门远的地方向门的方向擦。折叠
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