１ 工艺冷却水管道的选择
半导体、TFT-LCD等行业的工艺冷却水系统为避免工艺设备冷却盘管的结垢及堵塞，对工艺冷却水水质提出了要求。
以某半导体厂工艺冷却水设计水质为例：电阻率＞30 kΩ· cm硬度＜0.5德国度因此工艺冷却水管道的选择主要考虑两个方面的要求，一方面是对水质的要求；另一方面是对管道腐蚀的要求。
(2)洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好的洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
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2、传递窗
传递窗同样是净化工程中常见的设备，主要用于洁净区域和非洁净区域之间物品的传递。传递窗的应用能够有效减少车间开门的次数，进而降低车间受到外界空气污染的风险。随着技术水平的提高，风淋传递窗在各种净化工程中的应用越来越广。风淋传递窗可以将经过滤器过滤后的洁净气流由可旋转喷嘴从各个方向喷射至货物上，迅速清除尘埃粒子。
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