1 工艺冷却水管道的选择
半导体、TFT-LCD等行业的工艺冷却水系统为避免工艺设备冷却盘管的结垢及堵塞,对工艺冷却水水质提出了要求。
以某半导体厂工艺冷却水设计水质为例:电阻率>30 kΩ· cm硬度<0.5德国度因此工艺冷却水管道的选择主要考虑两个方面的要求,一方面是对水质的要求;另一方面是对管道腐蚀的要求。
广西洁净车间的施工现场应保证良好的通风和照明。如果对车间进行改建,则在施工前要仔细检查电源是否被切断,施工现场是否有有毒气体管线等,只有排除所有潜在威胁后才能开展施工。另外,若在施工过程中涉及到腐蚀性液体,则需要做好安全防护措施。
第二,装饰施工过程中,施工企业需要随时清扫灰尘,并且做好对隐蔽空间的清扫记录。另外,临时设置的设备入口不用时应封闭,防止尘土杂物进入;对已安装过滤器的房间,不得进行有粉尘的作业。